線形ステージとは何ですか？

motionモーションシステムによって移動されるオブジェクトの動きの軸を線形段階で安定させます。生成されたスライディングモーションにより、一部の人々は、ステージの線形運動軸受のコンポーネントである線形スライドとしてデバイスを参照するようになりました。線形、または翻訳の一部には、線形運動ベアリングとガイドがリンクしたプラットフォームとベースが含まれています。このシステムは、x、y、または垂直z軸であろうと、単一の軸に沿ったモーション変換を可能にします。モーションは、デバイスのガイドによって1つの軸に制限されています。ガイドの種類には、ボールベアリングスタイルが含まれます。ボールベアリングスタイルは、短い移動距離と重量の低容量を提供し、最も安価です。フレックスガイドは非常に正確で、着用しませんが、旅行範囲が短いです。交差ローラーベアリング、大容量の円筒形のスリーブ、およびダブテールガイドも、線形段階で使用される一般的なスタイルです。手動構成の場合、リードネジのコントロールノブは、ステージの角度の位置を示します。光学アプリケーションでは、精密段階では、リードネジが許すよりも高い精度を必要とするため、プラットフォーム上の金属パッドにファインピッチネジまたはマイクロメーターが取り付けられています。モーションは、ステッピングモーターによって制御することもできます。ステッピングモーターは、動作アプリケーションのステップと呼ばれる増分で移動するように設定されています。固定された増分モーションはこのタイプには適用されないため、スケールがステージに統合され、エンコーダーはスケールに関連するステージの位置を測定します。ポジショニングデータは、ステージを自動的に事前に設定する位置に自動的に移動するコントローラーに中継されます。複数の運動軸を必要とするシステムは、顕微鏡に使用される2軸段階など、線形段階を組み合わせることができます。垂直方向の動きが必要な場合、3軸ステージが使用されます。モーションシステムの場合、精度が重要です。ABBEエラーは、システムの角度エラーに起因する一般的な変位です。その他のエラーには、ピッチ、ロール、ヨーが含まれ、x軸とy軸の精度は他の軸の直交アライメントに依存します。線形段階には、ロータリーとチルトのコントロールも含まれ、最大6つの動きの軸を可能にします。